Ne arıyorsunuz?
?
HY-SP910, basit kurulum, kolay kullanım ve istikrarlı performans için PLC ve dokunmatik ekran kontrol sistemi ile donatılmıştır. İnce bileşenler üzerinde ultra hassas tek taraflı parlatma işlemi gerçekleştirir ve yarı iletken alt tabakaları (safir, SiC, silikon ve epitaksiyel levhalar), optik cam levhaları, kuvars kristalleri, seramik levhaları, paslanmaz çelik iş parçalarını ve fiber optik konektörleri destekler.
Marka :
HYRNUSÜrün No. :
HY-SP910Sipariş (Minimum Sipariş Miktarı) :
1 SetGaranti :
One-Year Warranty and Lifetime MaintenanceÖdeme :
T/TKurşun zamanı :
7-35 DaysÜrün Menşei :
ChinaYarı İletken Alt Tabakalar için Tek Taraflı Wafer CMP Parlatma Makinesi
Ürün Tanıtımı
HY-SP910 Wafer CMP Tek Taraflı Parlatıcı Gelişmiş mekanik mimari ve çok sayıda olgun kontrol algoritmasıyla üretilen bu cihaz, mükemmel parlatma verimliliği ve istikrarlı uzun vadeli çalışma performansı sunar. Entegre PLC ve dokunmatik ekran kontrol sistemi sayesinde kullanıcılar, sezgisel bir işletim arayüzü aracılığıyla parametre yapılandırmasını ve günlük işlemleri zahmetsizce tamamlayabilirler.
Bu ünite, parlatma basıncı için hava silindiri yüklemesini benimser ve ultra yüksek presleme hassasiyeti ve tüm parlatma döngüsü boyunca homojen basınç çıkışı için tam kapalı devre basınç kontrolü sağlamak üzere elektro-pnömatik oransal valflerle birleştirilmiştir. Aktif olarak tahrik edilen üst taşıyıcı, tüm istasyonlarda tutarlı parlatma sonuçları sağlarken, hem parlatma tablasında hem de üst taşıyıcıda dolaşan soğutma suyu, bulamaç verimliliğini en üst düzeye çıkarır ve tabla yüzeyinin termal deformasyonunu bastırır.
Ürün Avantajları
1. Yüksek Verimlilik ve İstikrarlı Çalışma: Bu, gelişmiş mekanik yapı ve çoklu gelişmiş kontrol yöntemlerini benimseyen, yüksek parlatma verimliliği ve istikrarlı çalışma özelliğine sahip tek taraflı hassas parlatma makinesidir.
2. Kullanıcı Dostu Kontrol Sistemi: Makinenin tamamı PLC + dokunmatik ekran kontrol sistemini kullanır; bu da ekipman parametrelerinin ayarlanmasını ve çalıştırılmasını basit ve kullanışlı hale getirir ve yüksek sistem çalışma istikrarı sağlar.
3. Yumuşak Başlatma/Durdurma Koruması: Ana motor, değişken frekanslı hız kontrolü ile kontrol edilir; bu sayede ana makinenin yumuşak başlatılması ve yumuşak durdurulması sağlanır, ekipman çalışması üzerindeki etki azaltılır ve iş parçası hasarı en aza indirilir.
4. Yüksek Hassasiyetli Basınç Kontrolü: İş parçası parlatma basıncı silindir basınçlandırması ile sağlanır ve elektrikli oransal valf aracılığıyla kapalı devre basınç kontrolü gerçekleştirilerek son derece yüksek basınç uygulama doğruluğu ve kararlılığı garanti edilir.
5. Düzgün Parlatma için Aktif Tahrik: Üst baskı plakası aktif tahrik modunu benimseyerek, her istasyonda parlatma işleminin düzgünlüğünü sağlarken, ürün parlatma hızını da garanti eder.
6. Proses Kararlılığı için Soğutma Sistemi: Hem parlatma tablası hem de üst baskı plakası soğutma suyu fonksiyonlarıyla donatılmıştır; bu sayede parlatma macununun verimliliği en üst düzeye çıkarılırken parlatma tablası yüzeyinin deformasyonu azaltılır.
Uygulama Alanları
Bu makine, ince hassas iş parçaları için tek taraflı ultra hassas parlatma işlemi gerçekleştirir. Başlıca işleme hedefleri arasında safir alt tabakalar, silisyum karbür alt tabakalar, silikon levhalar ve safir epitaksiyel levhalar dahil olmak üzere yarı iletken alt tabakalar yer almaktadır. Ayrıca optik cam levhalar, seramik levhalar, kuvars kristalleri, paslanmaz çelik iş parçaları ve fiber optik konektörler gibi optik ve hassas metal parçalarla da uyumludur.
Ürün Bileşimi
Teknik Parametre
Parametre Adı | Parametre Değeri |
| Model | HY-SP910 |
| Parlatma Başlığı Salınım Aralığı | ±5 mm |
| Parlatma Başlığı Dönme Hızı | 0~70 devir/dakika |
| Parlatma Diski Özellikleri | 910 mm |
| Parlatma Diskinin Dönme Hızı | 0~80 devir/dakika |
| Parlatma Sıvısı Akış Hızı | 15 L/dakika |
| İş Parçası Disk Boyutu | 360 mm |
| Tek İstasyon Basıncı | 20~300 KG |
| İş Parçası Disk Dönme Hızı | 0~70 devir/dakika |
| Ana Motor Gücü/Gerilim | 11 KW / 380 V |
| İşlem Boyutu | 2~8 inç |
| Ekipman İstasyonlarının Sayısı | 4 |
| Parlatma Makinesi Tipi | Dikey Döner Tabla Parlatma |
| Çalışma Modu | Yarı otomatik (Manuel Yükleme/Boşaltma) |
| Yüzey Pürüzlülüğü Ra(nm) | 5 nm |
| Toplam Ekipman Gücü | 12 KW |
| Toplam Ekipman Ağırlığı | Yaklaşık 3000 KG |
| Genel Boyutlar (UxGxY) | 1200 x 1650 x 2250 mm |
Başlıca Özellikler
| Kategori | Öğe | Özellikler |
| Mekanik Yapı | Metal levha | Standart 50 x 50 x 5 Kare Boru + Endüstriyel Sınıf Fırın Boyalı Çerçeve |
| Bileşenler | Yüzey Oksidasyon İşlemi Uygulanmış Paslanmaz Çelik 304 / AL 6061 | |
| Çalışma masası | Özel Üretim (Temel Patent Sahibi) | |
| Ana Motor | TECO | |
| Redüktör | Jiess / Chanta | |
| Elektrik Kontrol Sistemi | PLC | Delta / Panasonic / Mitsubishi |
| Dokunmatik Ekran | TouchThink / Weintek / Advantech | |
| Güç Koruması | Toprak Kaçağı Devre Kesici (Mean Well / Schneider) | |
| DC Güç Kaynağı | Anahtarlamalı Güç Kaynağı (Mean Well / Schneider) | |
| Pnömatik Sistem | Hava Silindiri | SMC / CKD / FESTO |
| Basınç Kontrolü | SMC / CKD / FESTO | |
| Basınç Düzenlemesi | SMC / CKD / FESTO | |
| Basınç Göstergesi | SMC / CKD / FESTO | |
| Solenoid Valf | SMC / CKD / FESTO |
Ürün Detayları
HY-WT9730, 12 inç'e kadar wafer'ları destekler. 3 adet hava yataklı taşlama mili ve 4 adet iş parçası hava yataklı mili ile donatılmış olup, kaba taşlama, ince taşlama ve parlatma işlemlerini entegre eder. Tamamen robotik iş akışı, gofret transferini, işlemeyi, temizlemeyi ve boşaltmayı otomatik olarak tamamlar; yalnızca manuel kaset beslemesi gereklidir. Ultra hassas Z ekseni beslemesi, üstün gofret düzlüğü ve hasarsız ayna cilalama sağlarken, sağlam çerçevesi istikrarlı seri üretimi garanti eder.
HY-SP855 tek taraflı bakır parlatıcı Yarı iletken sert ve kırılgan malzemeler için hassas taşlama ve parlatma işlemlerini gerçekleştirir. PLC dokunmatik kontrolü ve dahili disk şartlandırıcısı ile donatılmış olup, değişken frekanslı sürücü, kapalı devre basınç kontrolü ve plaka su soğutması özelliklerine sahiptir. Şartlandırılmış plaka düzlüğü 0,01 mm'ye ulaşarak, yüksek hassasiyetli alt tabaka seri üretiminde istikrarlı ve homojen bir işleme sağlar.
mesaj bırakın
WeChat'e tarayın :
WhatsApp'a tarayın :
