Ne arıyorsunuz?
?
HY-WT9230, 12 inç'e kadar ultra sert kırılgan yarı iletken malzemeler için geliştirilmiştir. Çift hava yataklı miller ve yüksek hassasiyetli taşlama Z ekseni ile donatılmış olup, yüksek verimlilik ve hasarsız işleme ile tam otomatik ayna inceltme işlemini destekler. Gözenekli vakumlu tutucu ve ultra ince besleme kontrolü ile donatılmış olan makine, yarı iletken gofret inceltme işlemleri için üstün düzlük ve kalınlık homojenliği sağlar.
Marka :
HYRNUSÜrün No. :
HY-WT9230Sipariş (Minimum Sipariş Miktarı) :
1 SetGaranti :
One-Year Warranty and Lifetime MaintenanceÖdeme :
T/TKurşun zamanı :
7-35 DaysÜrün Menşei :
ChinaSert ve Kırılgan Yarı İletken Malzemeler için Yarı İletken Levha İnceltme Makinesi
Ürün Tanıtımı
HY-WT9230 Yonga İnceltme MakinesiÇapı 12 inç'e kadar olan çeşitli ultra sert kırılgan yarı iletken malzemeler için uygundur. Çift hava yataklı miller ve yüksek hassasiyetli taşlama Z ekseni ile donatılmış olup, yüksek verimlilik, sıfır iş parçası hasarı ve mükemmel kalınlık homojenliği özelliklerine sahip tam otomatik ayna inceltme işlemi gerçekleştirir.
Bu makine, plakaları stabil bir şekilde tutmak için gözenekli seramik vakumlu bir tutucu kullanır. 0,1 μm minimum ilerleme hızı, 3,0 μm'den düşük taşlama sonrası TTV ve 8000# taşlama tekerleği ile ince taşlamadan sonra Ra＜10 nm yüzey pürüzlülüğü elde eder.
Makine Yapısı Diyagramı
Makine Çalıştırma Süreci
| Adım | Operasyon Adımları |
| 1 | Otomatik yapışma için silikon levhayı elle seramik tutucuya yerleştirin. |
| 2 | Aktarma mekanizması, iş parçası milini taşlama istasyonuna doğru hareket ettirir. |
| 3 | Öğütme düzeneği, gofreti otomatik olarak istenen kalınlığa kadar öğütür. |
| 4 | Transfer mekanizması, öğütülmüş silikon levhayı yükleme ve boşaltma istasyonuna taşır. |
| 5 | İşlenmiş gofreti elle çıkarın. |
Teknik Özellikler
| Öğe | Parametreler |
| İş Parçası Boyut Aralığı | İşlenebilir maksimum çap: Ø300 mm |
| Taşlama Çarkı Hava Yataklı Mil | Adet: 1 |
| İş mili gücü: 11,0 kW | |
| Mil Hızı: 1000~4000 dev/dak | |
| İş Parçası Hava Yataklı Mil | Adet: 1 |
| Mil Hızı: 10~300 dev/dak | |
| Z ekseni taşlama | Hareket mesafesi: 120 mm |
| Taşlama İlerleme Hızı: 0,0001~0,08 mm/s | |
| Minimum Besleme Artışı: 0,1 μm | |
| Sıkıştırma Yöntemi | Gözenekli Vakum Mandren |
| Taşlama sonrası TTV | ＜3,0 μm |
| Taşlama Sonrası Plakalar Arası Kalınlık Sapması | ±3 μm |
| İnce Taşlama Sonrası Yüzey Pürüzlülüğü | Ra＜10 nm (8000# taşlama taşı) |
Ana Bilgisayar
| HAYIR. | Öğe | Özellikler |
| 1 | Çerçeve | Alt çerçeve: Dökme demir (standart konfigürasyon) |
| Üst çerçeve: 30×60 alüminyum profil | ||
| 2 | Kapak Plakası | Yüzeyine RAL9003 plastik püskürtme uygulanmış soğuk haddelenmiş çelik levha (standart konfigürasyon) |
| 3 | Yapısal Parçalar | Krom kaplama yüzeyli 45# çelik, eloksallı alüminyum alaşımı ve paslanmaz çelik |
| 4 | Güç Kaynağı | Üç fazlı 380 V, 50 Hz |
| 5 | Hava Kaynağı | ≥0,5 MPa (dalgalanma) ＜0,03 MPa), 150 L/dak |
| 6 | Su Kaynağı | Basınç: 0,2–0,3 MPa |
| Akış hızı: ＞20 L/dakika | ||
| Sıcaklık: Ortam sıcaklığı +2℃ (dalgalanma ±1)℃) | ||
| 7 | Güç Tüketimi | Isınma: 4 kW; Öğütme: 8 kW |
Ürün Detayları
HY-WT9330, bir adet hava yataklı taşlama mili ve iki adet hava yataklı iş parçası mili ile donatılmıştır. 12 inç'e kadar çeşitli ultra sert, kırılgan ve taşlanması zor alt tabakaları işleyebilir; yüksek verimlilik, hasarsız ve ultra hassas ayna taşlama işlemi ile olağanüstü kalınlık doğruluğu sağlar ve her türlü yonga levhasının arka inceltme işlemi için uygundur.
HY-WT9530, 8 inç'e kadar sert ve kırılgan alt tabakalar için 2 adet hava yataklı mil ve 3 adet vakumlu tutucu tabla ile donatılmıştır. Operatörlerin yalnızca kasetleri manuel olarak yüklemesi gerekirken, makine kaba/ince taşlama, temizleme ve geri kazanım dahil olmak üzere tam otomatik döngüleri tamamlar. Mükemmel düzlük ve yüzey pürüzlülüğü ile taşlama sonrası TTV≤1,5μm, çeşitli yarı iletken gofretlerin arka yüzey inceltmesi için uygundur.
HY-WT9730, 12 inç'e kadar wafer'ları destekler. 3 adet hava yataklı taşlama mili ve 4 adet iş parçası hava yataklı mili ile donatılmış olup, kaba taşlama, ince taşlama ve parlatma işlemlerini entegre eder. Tamamen robotik iş akışı, gofret transferini, işlemeyi, temizlemeyi ve boşaltmayı otomatik olarak tamamlar; yalnızca manuel kaset beslemesi gereklidir. Ultra hassas Z ekseni beslemesi, üstün gofret düzlüğü ve hasarsız ayna cilalama sağlarken, sağlam çerçevesi istikrarlı seri üretimi garanti eder.
HY-IS1000, lazer modifikasyonu ve gofret ayırma işlemlerini birleştiren çift istasyonlu SiC külçe lazer dilimleme ve taşlama ekipmanıdır. Testere izi bırakmayan gofret ayırma için SiC külçelerinin içinde dahili modifiye katmanlar oluşturmak üzere ultra kısa darbeli lazer kullanır ve taşlanmış gofret TTV ≤1,1 μm ile yüksek verimlilik sağlar. Üçüncü nesil yarı iletken alt tabaka üretiminde vazgeçilmez bir seri üretim ekipmanıdır.
HY-WC615 çift taraflı gofret pah kırma makinesi CCD görüntüleme konumlandırma ve çevrimiçi kalınlık ölçüm modülleri, kendi geliştirdiği temel mekanik bileşenler ve tam otomatik yükleme/boşaltma sistemi ile donatılmış olan bu cihaz, wafer pah kırma işlemleri için olağanüstü işleme hassasiyeti ve kullanıcı dostu dokunmatik çalışma sunmaktadır.
HY-ST3005, yüksek hassasiyetli arka inceltme işlemleri için 4–12 inç arası sert, kırılgan yarı iletken alt tabakaları işleyebilir. Üstün doğruluk ve uzun vadeli istikrar için yinelemeli olarak geliştirilen bu cihaz, birinci sınıf çekirdek aksamlarına (hidrostatik hava yataklı taşlama mili, yüksek hassasiyetli gofret mili, yüksek rijitliğe sahip geniş çaplı döner tabla) ve silikon ve bileşik yarı iletken gofretlerin seri üretimi için yüksek otomasyona sahiptir.
HY-ST3002, sert ve kırılgan yarı iletkenlerin hassas inceltme ve taşlama işlemleri için 4-12 inçlik wafer'ları işleyebilir. Olgunlaşmış süreçlerle tamamen güncellenen bu cihaz, geliştirilmiş otomatik inceltme mimarisi ve birinci sınıf ana parçalarıyla (hidrostatik hava yataklı taşlama mili, hidrostatik hava yataklı wafer tutma mili, yüksek rijitliğe sahip geniş çaplı döner tabla) artırılmış doğruluk ve istikrarlı uzun süreli performans sunar.
mesaj bırakın
WeChat'e tarayın :
WhatsApp'a tarayın :
